Halbleitersynthese und Nanoanalytik

Worum geht's

Du lernst moderne Verfahren zur Herstellung und zur nanoskaligen Charakterisierung von Halbleiter-Dünnschichten. Am Ende kannst du die physikalischen Grundlagen und experimentellen Implementierungen wichtiger Depositions- und Analyseverfahren beschreiben und experimentelle Ergebnisse kritisch interpretieren.

Was du danach kannst

• Grundkenntnisse zu Synthese- und Nanoanalysemethoden
• Vor- und Nachteile der verschiedenen Depositionsverfahren erkennen
• Physik der plasmaunterstützten Synthesen verstehen
• Einfluss experimenteller Parameter (Temperatur, Druck, Fluss, Vorspannung) auf Wachstumsmode und Schichteigenschaften einschätzen
• Physikalische Grundlagen und Schlüsselinformationen der Nanoanalyse-Methoden beschreiben
• Experimentelle Ergebnisse kritisch interpretieren
• Erklären, wie Methoden sich ergänzen und welche Grenzen (Empfindlichkeit, Auflösung, Probenbeeinflussung) sie haben

Aus was das Modul besteht

• VorlesungVermittlung der physikalischen Grundlagen und experimentellen Umsetzung der Synthese- und Analyseverfahren
• Übung/BeispieleAnwendung von Verständnisfragen und Beispielrechnungen zur Feststellung von Lernergebnissen

Lehrmethode

• VorlesungErläuterung der physikalischen Prinzipien und experimentellen Implementierungen
• Diskussion von Beispielrechnungen und VerständnisfragenÜberprüfung und Vertiefung des Verständnisses durch exemplarische Aufgaben