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Mikrotechnische Sensoren/Aktoren

MW0080Vertiefungsphase5 ECTSDeutschWintersemester/SommersemesterLehrstuhl für Mikrotechnik und Medizingerätetechnik (Prof. Lüth)
KI-überarbeitetes Infoblatt. Auf Basis der TUMonline-Modulbeschreibung, sprachlich aufbereitet.Original in TUMonline

Worum geht's

Du lernst Grundlagen mikrotechnischer Fertigungsverfahren sowie Entwurf und Realisierung von Sensoren und Aktoren kennen. Du verstehst die Bedeutung typischer Werkstoffe (insbesondere Silizium und Piezokeramik) und verschiedene Herstellungsverfahren wie Lithografie, Beschichtungen, Oberflächentechnik, Laser- und Ultrapräzisionsbearbeitung. Am Ende kannst du Anwendungsfälle bewerten und passende Werkstoffe sowie Fertigungsverfahren auswählen.

Was du danach kannst

  • Einschätzen geeigneter Anwendungen für Mikrosysteme
  • Vor- und Nachteile gegenüber konventionellen mechatronischen Systemen erkennen
  • Auswahl geeigneter Werkstoffe für gegebene Anwendungen
  • Auswahl passender Fertigungsverfahren treffen
  • Erstellen von Abschätzungen für erste Entwürfe mit Minimalmodellen

Aus was das Modul besteht

  • VorlesungVermittlung der theoretischen Grundlagen zu Werkstoffen, Fertigungsverfahren und Anwendungen
  • ÜbungFreihand- und Demonstrationsexperimente sowie Rechenaufgaben zur Vertiefung und Anwendung der Theorie

Lehrmethode

  • Präsentation (Folien/Tafel, Bilder, Filme, Internetseiten)Vermittlung der theoretischen Grundlagen
  • Demonstrations- und Freihandexperimente in der ÜbungVeranschaulichung und Vertiefung der Theorie
  • Gemeinsame Bearbeitung von RechenaufgabenEinüben von Abschätzungen und Minimalmodellen

Termine

VorlesungMikrotechnische Sensoren/Aktoren (Mikrotechnik)

  • Do.13:00–14:30MW 1050, Johann-Bauschinger-Zeichensaal (5510.01.050)
    14× · 15.10.–04.02.
    • 15.10.
    • 22.10.
    • 29.10.
    • 05.11.
    • 12.11.
    • 19.11.
    • 26.11.
    • 10.12.
    • 17.12.
    • 07.01.
    • 14.01.
    • 21.01.
    • 28.01.
    • 04.02.

ÜbungMikrotechnische Sensoren/Aktoren (Mikrotechnik)

  • Do.14:30–15:15MW 1050, Johann-Bauschinger-Zeichensaal (5510.01.050)
    14× · 15.10.–04.02.
    • 15.10.
    • 22.10.
    • 29.10.
    • 05.11.
    • 12.11.
    • 19.11.
    • 26.11.
    • 10.12.
    • 17.12.
    • 07.01.
    • 14.01.
    • 21.01.
    • 28.01.
    • 04.02.

Aus dem laufenden Semester, unverbindlich.

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