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This module is taught in German, so its description is only available in German.
Du lernst Grundlagen mikrotechnischer Fertigungsverfahren sowie Entwurf und Realisierung von Sensoren und Aktoren kennen. Du verstehst die Bedeutung typischer Werkstoffe (insbesondere Silizium und Piezokeramik) und verschiedene Herstellungsverfahren wie Lithografie, Beschichtungen, Oberflächentechnik, Laser- und Ultrapräzisionsbearbeitung. Am Ende kannst du Anwendungsfälle bewerten und passende Werkstoffe sowie Fertigungsverfahren auswählen.
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