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Fortschritte in der Atomlagenabscheidung (ALD) und Atomlagenätzung (ALE) für Masterstudierende

PH1540Specialization Phase4 ECTSStudiengangsbündel Professional Profile Physik

This module is taught in German, so its description is only available in German.

AI-edited module sheet. Based on the TUMonline module description, edited for readability.Original in TUMonline

What it is about

Du präsentierst als Masterstudierende/r Seminarvorträge zu aktuellen Forschungsthemen aus den Bereichen Atomlagenabscheidung (ALD) und Atomlagenätzung (ALE). Am Ende bist du in der Lage, ein spezielles Thema aus wissenschaftlichen Veröffentlichungen aufzubereiten und in einem Vortrag darzustellen sowie einen Überblick über die aktuelle Forschung in diesem Gebiet zu geben.

What you will be able to do

  • wissenschaftliche Literaturrecherche anwenden
  • ein spezielles Forschungsthema aus Publikationen aufbereiten
  • Ergebnisse in einem wissenschaftlichen Vortrag darstellen
  • Überblick über aktuelle Forschung in ALD/ALE gewinnen

What the module consists of

  • SeminarvortragJede/r Studierende bereitet selbständig einen Vortrag zu einem aktuellen wissenschaftlichen Thema vor; über diesen Vortrag erfolgt die Überprüfung der Lernergebnisse.

Teaching method

  • Seminarvorträge durch StudierendeEinsatz zur Vertiefung aktueller Forschungsthemen und zur Übung wissenschaftlicher Präsentationstechniken
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