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Praktikum Design und Simulation von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)

EI78032Prüfungsleistungen6 ECTSDeutsch/EnglischWintersemester/SommersemesterProfessur für Microsensors and Actuators (Prof. Schrag)
KI-überarbeitetes Infoblatt. Auf Basis der TUMonline-Modulbeschreibung, sprachlich aufbereitet.Original in TUMonline

Worum geht's

Du lernst, wie man Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) auf Systemebene modelliert und simuliert. Im Praktikum erstellst du mit der kommerziellen Software MEMS+ Simulationsmodelle für mikromechanische Sensoren und Aktoren, untersuchst ihr Betriebsverhalten und kombinierst Modelle mit MATLAB/Simulink zur Analyse des Gesamtsystemverhaltens.

Was du danach kannst

  • Verschiedene Modellierungsansätze für MEMS wiedergeben
  • Überblick über gängige kommerzielle Simulationswerkzeuge
  • Aufbau und Funktion einzelner MEMS-Bauteile verstehen
  • Anwendung von MEMS+ zur Modellerstellung und Simulation
  • Co-Simulation von MEMS mit elektronischer Beschaltung
  • Durchführung, Auswertung und Darstellung von Design- und Simulationsuntersuchungen

Aus was das Modul besteht

  • VorlesungEinführung in Grundlagen, Modellierungsansätze und Überblick über Softwaretools
  • PraktikumErstellung und Untersuchung von Simulationsmodellen in MEMS+; Aufgaben in Zweier-Gruppen

Lehrmethode

  • Frontalvortrag und bilaterale DiskussionEinführung in die Grundlagen und Austausch zu Thema
  • Beispielsimulationen und TutorienEinarbeitung in die verwendeten Simulationstools
  • Projektarbeit anhand von VersuchsbeschreibungenSelbstständige Erstellung und Analyse eigener Simulationen
  • Individuelle fachliche DiskussionVertiefung des Wissens während der praktischen Phase

Termine

PraktikumPraktikum "Design und Simulation von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)"

  • Di.09:00–12:00N2159, Elektronikpraktikum (0101.02.159)
    14× · 13.10.–02.02.
    • 13.10.
    • 20.10.
    • 27.10.
    • 03.11.
    • 17.11.
    • 24.11.
    • 01.12.
    • 08.12.
    • 15.12.
    • 22.12.
    • 12.01.
    • 19.01.
    • 26.01.
    • 02.02.

VorlesungVorlesung zum Praktikum "Design und Simulation von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)"

  • Di.12:00–12:45N2159, Elektronikpraktikum (0101.02.159)
    14× · 13.10.–02.02.
    • 13.10.
    • 20.10.
    • 27.10.
    • 03.11.
    • 17.11.
    • 24.11.
    • 01.12.
    • 08.12.
    • 15.12.
    • 22.12.
    • 12.01.
    • 19.01.
    • 26.01.
    • 02.02.

Aus dem laufenden Semester, unverbindlich.

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