Nanotechnologie

Worum geht's

Du lernst grundlegende Methoden der Nanofabrikation (z. B. optische Lithografie, Elektronenstrahllithografie, FIB) sowie neuere Verfahren (z. B. Röntgenlithografie, Nanoimprint). Ergänzend behandelst Du Bottom-up-Wachstumsverfahren für Halbleiternanostrukturen (z. B. MOCVD, MBE) und Methoden zur nanoanalytischen Charakterisierung (z. B. Elektronenmikroskopie, Röntgenmethoden, Atomsondentomografie). Am Ende kannst Du Herstellungsmethoden und Analyseverfahren beurteilen und ihr Zusammenspiel mit strukturellen und elektronischen Eigenschaften für technologische Anwendungen einschätzen.

Was du danach kannst

• Grundkenntnisse in Nanofabrikation und Analyse halb-leiterbasierter Bauelemente
• Auswahl und Beurteilung geeigneter nanotechnologischer Fabrikationstechniken
• Erforschung der Grenzen verschiedener Methoden
• Strukturelle, atomare und oberflächenspezifische Analyse nanostrukturierter Materialien
• Verständnis des Zusammenhanges von Materialherstellung, Struktur-/Elektronen-eigenschaften und Funktionalität

Aus was das Modul besteht

• VorlesungPräsentation der thematischen Inhalte, Beispiele und Diskussion zur Vermittlung der Grundlagen
• ÜbungSelbstständiges Lösen von Aufgaben, Bearbeitung und Besprechung mit wissenschaftlicher Betreuung

Lehrmethode

• Vortrag/PräsentationStrukturierte Vermittlung der Lehrinhalte und Anregung zur inhaltlichen Auseinandersetzung
• DiskussionVertiefung durch Austausch und kritische Reflexion der Beispiele
• Aufgabenblätter und ÜbungsbesprechungSelbstständige Anwendung, Kontrolle und Vertiefung der gelernten Methoden
• LaborbesichtigungAnschauliche Ergänzung durch Einblicke in reale Anlagen und Prozesse