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Technologie der III-V-Halbleiterbauelemente

EI7388Examination Performance5 ECTSGermanwinter semesterDepartment Electrical Engineering

This module is taught in German, so its description is only available in German.

AI-edited module sheet. Based on the TUMonline module description, edited for readability.Original in TUMonline

What it is about

Du lernst die technologischen und physikalischen Grundlagen von III‑V‑Verbindungshalbleitern sowie Aufbau, Herstellung und Charakterisierung optoelektronischer und elektronischer Bauelemente. Am Ende kannst du die wichtigsten Herstellungs‑ und Bearbeitungsschritte für III‑V‑Halbleiterbauelemente beschreiben und einen Fertigungsprozess für ein Bauelement zumindest in den wesentlichen Schritten entwickeln.

What you will be able to do

  • Kenntnis grundlegender Eigenschaften von III‑V‑Halbleitern
  • Verstehen von Epitaxieverfahren (LPE, MOVPE, MBE)
  • Grundlagen der Kristallcharakterisierung (Röntgenbeugung, Photolumineszenz, Hall‑Effekt)
  • Vertrautheit mit Lithografie, Ätztechniken und Kontaktierung
  • Funktionsweise und Herstellung von Feldeffekttransistoren und Heterobipolartransistoren
  • Kenntnis von Leuchtdioden und Laserdioden sowie ihrer Realisierungsformen
  • Fähigkeit, einen Fertigungsprozess für Halbleiterbauelemente zu entwickeln

What the module consists of

  • VorlesungPräsentation der Inhalte in Frontalunterricht; Vermittlung der theoretischen Grundlagen
  • Übung/HausaufgabenVertiefung durch Aufgaben, die zu Hause bearbeitet und in Übungen vorgerechnet werden

Teaching method

  • FrontalunterrichtVermittlung der Vorlesungsinhalte
  • Selbststudium (Originalliteratur)Vertiefung einzelner Themen über Lehrbücher hinaus
  • Übungsaufgaben mit VorrechnenEinüben des Umgangs mit den präsentierten Sachverhalten
  • Präsentation eigener ErgebnisseFördert die Selbstständige Aufarbeitung und Darstellung von Themen

Dates

Lecture with exerciseTechnologie der III-V-Halbleiterbauelemente2 groups to choose from

  • AThu14:00–15:30N1414, Seminarraum (0104.01.414)
    14× · 15.10.–04.02.
    • 15.10.
    • 22.10.
    • 29.10.
    • 05.11.
    • 12.11.
    • 19.11.
    • 26.11.
    • 10.12.
    • 17.12.
    • 07.01.
    • 14.01.
    • 21.01.
    • 28.01.
    • 04.02.
  • BThu15:45–16:30N1414, Seminarraum (0104.01.414)
    14× · 15.10.–04.02.
    • 15.10.
    • 22.10.
    • 29.10.
    • 05.11.
    • 12.11.
    • 19.11.
    • 26.11.
    • 10.12.
    • 17.12.
    • 07.01.
    • 14.01.
    • 21.01.
    • 28.01.
    • 04.02.

From the current semester, not binding. You attend one of several groups; the timetable automatically suggests the one with the fewest clashes.

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