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Technologie der III-V-Halbleiterbauelemente

EI7388Prüfungsleistungen5 ECTSDeutschWintersemesterDepartment Electrical Engineering
KI-überarbeitetes Infoblatt. Auf Basis der TUMonline-Modulbeschreibung, sprachlich aufbereitet.Original in TUMonline

Worum geht's

Du lernst die technologischen und physikalischen Grundlagen von III‑V‑Verbindungshalbleitern sowie Aufbau, Herstellung und Charakterisierung optoelektronischer und elektronischer Bauelemente. Am Ende kannst du die wichtigsten Herstellungs‑ und Bearbeitungsschritte für III‑V‑Halbleiterbauelemente beschreiben und einen Fertigungsprozess für ein Bauelement zumindest in den wesentlichen Schritten entwickeln.

Was du danach kannst

  • Kenntnis grundlegender Eigenschaften von III‑V‑Halbleitern
  • Verstehen von Epitaxieverfahren (LPE, MOVPE, MBE)
  • Grundlagen der Kristallcharakterisierung (Röntgenbeugung, Photolumineszenz, Hall‑Effekt)
  • Vertrautheit mit Lithografie, Ätztechniken und Kontaktierung
  • Funktionsweise und Herstellung von Feldeffekttransistoren und Heterobipolartransistoren
  • Kenntnis von Leuchtdioden und Laserdioden sowie ihrer Realisierungsformen
  • Fähigkeit, einen Fertigungsprozess für Halbleiterbauelemente zu entwickeln

Aus was das Modul besteht

  • VorlesungPräsentation der Inhalte in Frontalunterricht; Vermittlung der theoretischen Grundlagen
  • Übung/HausaufgabenVertiefung durch Aufgaben, die zu Hause bearbeitet und in Übungen vorgerechnet werden

Lehrmethode

  • FrontalunterrichtVermittlung der Vorlesungsinhalte
  • Selbststudium (Originalliteratur)Vertiefung einzelner Themen über Lehrbücher hinaus
  • Übungsaufgaben mit VorrechnenEinüben des Umgangs mit den präsentierten Sachverhalten
  • Präsentation eigener ErgebnisseFördert die Selbstständige Aufarbeitung und Darstellung von Themen

Termine

Vorlesung mit ÜbungTechnologie der III-V-Halbleiterbauelemente2 Gruppen zur Wahl

  • ADo.14:00–15:30N1414, Seminarraum (0104.01.414)
    14× · 15.10.–04.02.
    • 15.10.
    • 22.10.
    • 29.10.
    • 05.11.
    • 12.11.
    • 19.11.
    • 26.11.
    • 10.12.
    • 17.12.
    • 07.01.
    • 14.01.
    • 21.01.
    • 28.01.
    • 04.02.
  • BDo.15:45–16:30N1414, Seminarraum (0104.01.414)
    14× · 15.10.–04.02.
    • 15.10.
    • 22.10.
    • 29.10.
    • 05.11.
    • 12.11.
    • 19.11.
    • 26.11.
    • 10.12.
    • 17.12.
    • 07.01.
    • 14.01.
    • 21.01.
    • 28.01.
    • 04.02.

Aus dem laufenden Semester, unverbindlich. Von mehreren Gruppen besucht man eine; der Stundenplan schlägt automatisch die mit den wenigsten Überschneidungen vor.

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